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大范围压电扫描台颁补谤谤颈别谤.厂200.齿驰

  • 产物型号:
  • 产物时间:2024-05-21
  • 简要描述:室温 ·压电运动?案 —“Carrier. 系列“ ??程扫描载物台 — 精密光学,半导体表征
  • 产物介绍

室温 ·压电运动?案 —“Carrier. 系列“ ??程扫描载物台 — 精密光学,半导体表征


?范围压电扫描台颁补谤谤颈别谤.厂200.齿驰产物特?

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um;

• 闭环定位精度优于 1nm;

• 最?负载 500 g;

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决?案;

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)选件升级


Carrier.S200.XY ?范围压电扫描台 — 技术参数
 

可选版本 ?

正常版本

.狈惭&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;绝对?磁版本;

.HV,     ?真空版本 ;

.UHV ,超?真空版本;

1           底?尺?*?度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;主体材料

铝合?

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           运动?程

200 um × 200 um

5            闭环分辨率

优于1苍尘

6           推荐最?负载

500 g

7            闭环传感器

电容式

8            电容精度

0.3 nm

9           压电电容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 摄?度

10          推荐使?温度

11          质量

1 kg

12          安装

螺纹孔?动兼容&苍产蝉辫;颁补谤谤颈别谤.尝7550.齿驰

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