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压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)
室温 ·压电运动解决?案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台
外形紧凑，动?性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。
• 超安静运动， 20 kHz驱动频率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 位置传感?持电阻型(.R) 和光学型(.O)
• ?精度 · 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选
• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm
• 最?步伐优于 10 nm
• 可提供多轴堆叠安装转接件
• 控制器兼容旋转台，摇摆台
• ?持?磁( .NM)、?真空( .HV)和超?真空 ( .UHV)选件
2D ·尺?图
LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数
可选版本 ? | 正常版本 | .NM | .HV | .UHV | |
.狈惭&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;绝对?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本； | |||||
1 底?尺?*?度 | 65 × 65 mm × 12 mm | ||||
2 主体材料 | 不锈钢 | 纯钛 | 不锈钢 | 不锈钢 | |
3 线缆 & 接头 | 标准屏蔽线缆 顿厂耻产9&苍产蝉辫;接头 | 办补辫迟辞苍漆包线， 笔贰贰碍-2尘尘插针 | |||
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得) | |||||
4 运动?程 | 30 mm | ||||
5 最?速度 | ~ 20 mm/s | ||||
6 最?步伐 | ~ 10 nm | ||||
7 驱动频率 | Max. 20 kHz (超安静运动) | ||||
8 最??平推? | 2 N | ||||
9 保持? | 5 N | ||||
0.3 mrad / 0.2 mrad | |||||
10 全?程俯仰/偏摆 | |||||
运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得) | |||||
11 | 最?垂直负载 | 2 N | |||
12 | 保持? | 5 N | |||
传感精度 | |||||
13 位置传感类型 | - 电阻型传感( .R ) - 光栅尺传感( .O ) | ||||
14 位置传感量程 | 30 mm | ||||
15 位置传感分辨率 | - 电阻型传感( .R )， 100-200 nm - 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm) | ||||
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