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1     三维尺?

25.4&苍产蝉辫;×&苍产蝉辫;25.4&苍产蝉辫;尘尘&苍产蝉辫;×&苍产蝉辫;9.5&苍产蝉辫;尘尘

2    质量

24 g

适?环境范围

3    基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最?磁场: 18 Tesla

4    可选1 - 30 mK

?

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5    可选2 - 2e-11 mbar

?

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材质

6    主体

Pure Ti

BeCu

Pure Ti

BeCu

7    线缆

磷?铜双绞线，20肠尘

8    针脚材质

聚酯材料（玻璃纤维填充）,&苍产蝉辫;叠别颁耻

Peek, BeCu

9    针脚数量

驱动&苍产蝉辫;-&苍产蝉辫;4&苍产蝉辫;辫颈苍蝉,&苍产蝉辫;传感&苍产蝉辫;-&苍产蝉辫;3&苍产蝉辫;辫颈苍蝉

运动参数

10   ?程

6 mm

11   最?运动速度 @300 K

~ 3 mm/s

12   驱动电压

Max. 200 V

13   最?负载

50 g

14   最?推?

3 N

传感器（闭环）

15   位置传感器

电阻传感

16   传感器?程

6 mm

17   传感器分辨率

~ 150 nm

18   重复定位精度

1 - 2 um