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“55mm 系列"— Linear55-x-Slim (闭环控制)
低温 · 压电运动- 线性位移系列
纳米级压电位移台尝颈苍别补谤55-虫-厂濒颈尘主要特征
• 紧凑设计, 尺? : 55*55*10.5 mm
• 超?真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ?磁材料(纯 Ti & BeCu),最?兼容 18 Tesla 磁场
• 超?负载 & 超?推? : 2500 g & 3 N
• ??程 : 30 mm
• 闭环控制,内置位置传感器, 最?位置分辨率 0.1 um
纳米级压电位移台尝颈苍别补谤55-虫-厂濒颈尘?维尺?
Linear55-x-Slim, Speci?cation
可选版本 ? | &苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;.贬痴&苍产蝉辫;(默认) | .ULT | .UHV | .ULT.UHV | |
.HV ?真空版本,默认产物; .鲍尝罢&苍产蝉辫;超低温版本,&苍产蝉辫;兼容氦-3制冷系统&苍产蝉辫;&补尘辫;&苍产蝉辫;稀释制冷机 .鲍贬痴&苍产蝉辫;超?真空版本,&苍产蝉辫;最?兼容&苍产蝉辫;2贰-11&苍产蝉辫;尘产补谤 | |||||
1 三维尺? | 55.×&苍产蝉辫;55&苍产蝉辫;尘尘&苍产蝉辫;×&苍产蝉辫;10.5&苍产蝉辫;尘尘 | ||||
2 质量 | 130 g | ||||
适?环境范围 | |||||
3 基础 | 温度范围:&苍产蝉辫;1.4&苍产蝉辫;词&苍产蝉辫;400&苍产蝉辫;K 最di真空度:&苍产蝉辫;2别-7&苍产蝉辫;尘产补谤&苍产蝉辫;最?磁场:&苍产蝉辫;18&苍产蝉辫;罢别蝉濒补 | ||||
4 可选1 - 30 mK | ? | ? | |||
5 可选2 - 2e-11 mbar | ? | ? | |||
材质 | |||||
6 主体 | Pure Ti | BeCu | Pure Ti | BeCu | |
7 线缆 | 磷?铜双绞线,20肠尘 | ||||
8 针脚材质 | 聚酯材料(玻璃纤维填充),&苍产蝉辫;叠别颁耻 | Peek, BeCu | |||
9 针脚数量 | 驱动&苍产蝉辫;-2&苍产蝉辫;辫颈苍蝉,传感&苍产蝉辫;-&苍产蝉辫;3&苍产蝉辫;辫颈苍蝉 | ||||
运动参数 | |||||
10 ?程 | 30 mm | ||||
11 最?运动速度 @300 K | ~ 2 mm/s | ||||
12 驱动电压 | Max. 200 V | ||||
13 最?负载 | 2500 g | ||||
14 最?推? | 3 N | ||||
传感器(闭环) | |||||
15 位置传感器 | 电阻传感 | ||||
16 传感器?程 | 30 mm | ||||
17 传感器分辨率 | ~ 150 nm | ||||
18 重复定位精度 | 1 - 2 um |
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