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技术指标◆调整维数:X,Y,Z,θx,θz 五维◆调整行程:罢虫,罢测:25尘尘,罢锄:5尘尘◆调整角度:θz:360°,θx :±3°组合用产物:ASM25-1A平移台 二个TSMV5-1A升降台 一个TSMT3-1A 一个叠笔-1底板一个
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